频率式和数字式传感器.pptVIP

5.5 光 栅 传 感 器 5.5.1 光栅的类型与结构 　　实际应用的光栅有透射光栅和反射光栅， 按其工作原理可分为黑白光栅（幅射光栅）和相位光栅（炫耀光栅）； 按其用途可分为直线光栅和圆光栅。  　　如图5-8所示， 黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上， 均匀地刻上许多明暗相间， 宽度相同的透光线， 称为栅线。 设栅线宽为a， 线间缝宽为b， a+b=W称为光栅节距(栅距)。 通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9； 目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、100、250线。 使用时，长光栅装在运动部件上， 称为标尺光栅;短光栅装在固定部件上，称为指示光栅。 第29页，共56页，编辑于2022年，星期三 图5-8 黑白透射光栅示意图 （a） 标尺光栅； （b） 指示光栅 第30页，共56页，编辑于2022年，星期三 5.5.2 莫尔条纹的形成原理与特点 　　1. 莫尔条纹的形成原理 　　按照光学原理，对于栅距远大于光波长的粗光栅，可以利用几何光学的遮光原理来解释莫尔条纹的形成。如图5-9所示， 当两个有相同栅距的光栅合在一起， 其栅线之间倾斜一个很小的夹角θ，于是在近乎垂直于栅线的方向上出现了明暗相间的条纹。 例如在h-h线上， 两个光栅的栅线彼此重合，从缝隙中通过光的一半， 透光面积最大，形成条纹的亮带；在g-g线上， 两光栅的栅线彼此错开， 形成