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半导体物理学 课程简介 特点 系统性 容量大 仍在飞速发展的学科 学习方法 了解概念 掌握基本原理 具体问题的简单数学处理 1.半导体物质的出现过程 17世纪,惠更斯(C.Huygens)以椭球堆集模型解释方解石的双折射性质和解理面 18世纪,阿羽衣(R.J.Hauy)认为方解石晶体由坚实的、相同的、平行六面形的小“基石”有规则的重复堆集而成 19世纪中叶,布喇菲(Bravais)发展了空间点阵说,概括了晶格周期性的特征 19世纪末,费多洛夫、熊夫利、巴罗等独立的发展了关于晶体微观几何结构的理论体系,为进一步研究晶体结构的规律提供了理论依据 1912年,劳厄(M.von laue)首先指出晶体可以作为X射线的衍射光栅 20世纪初,量子理论的发现使人们能够更加深入和比较正确地描述晶体内部微观粒子的运动过程,如爱因斯坦(A.Enstein)引入量子化概念研究晶格振动;在特鲁得和洛伦兹的金属自由电子论的基础上,索末菲(A.Aommerfeld)发展了固体理论,为研究晶体中电子运动过程指出了方向 20世纪30年代,建立固体电子态理论(能带论)和晶格动力学,固体的能带论提出了导电的微观机理,指出了导体与绝缘体的区别,找到了半导体物质 20世纪四十年代末五十年代初,以硅、锗为代表的半导体单晶出现并制成了晶体三极管 2. 半导体学科发展 二十世纪上半页半导体性能和基础器件的深入认识和发展 1907年Round发现电致发光现象:发光二极管(LED) 1938年Schottky提出金属-半导体势垒模型 1947年贝尔实验室发明晶体管 1947年Shockley提出p-n结型晶体管,1952年提出第一个场效应管, Ebers发明晶闸管,1958年发明隧道二极管 1962年激光二极管(LD) 3.物质结构 FCC 金刚石 (diamond ) 和闪锌矿(zincblende)结构 六方结构hcp 5. 晶体结构的表征 晶体结构的周期性: 空间点阵:空间规则周期性分布的点阵 --------- 布喇菲点阵学说 空间周期性单元-固体物理学原胞(最小重复单元) 结晶学晶胞:晶体学对称单元 晶格(正格子)表示:Rl(r)= l1a1+l2a2+l3a3, a1、a2 和a3为原胞 单元边长矢量。 晶体结构的表征 原胞体积: 原胞体积:Ω=a1.[a2 ×a3] 晶面,晶向和指数: 面指数:在基矢坐标轴上的截距倒数比 具体的面:(100) 相同的晶面簇表示为单形符号:{100} 晶向指数:晶面的法向指数 具体方向: [100] 相同的晶向单形符号: 100 6. 倒易空间及物理意义 晶体结构的研究方法 倒易空间: 为建立晶体X射线和电子衍射得到的斑点和晶体结构(晶面)的对应关系 倒易空间中的点与正格空间中的一个晶面族相对应 倒格子: Kh(r)=h1b1+h2b2+h3b3, b1、b2 和b3为原胞单元边长矢量 正倒空间关系: ai.bj=2πδij ΩΩ*=(2π)3, Ω*=b1.[b2 ×b3] Rl(r) · Kh(r)=2nπ, n为整数 正格子和倒格子的线度关系除2π因子外,互为倒数,正格子线度的量纲为【米】,倒格子为【米】-1 (1)利用倒易点阵的概念可以比较方便地导出晶体几何学中各种重要关系式; (2)利用倒易点阵可以方便而形象地表示晶体的衍射几何学。例如:单晶的电子衍射图相当于一个二维倒易点阵平面的投影,每一个衍射斑点与一个倒易阵点对应。因此,倒易点阵已经成为晶体衍射工作中不可缺少的分析工具。 (3)倒易矢量也可以理解为波矢k,通常用波矢来描述电子在晶体中的运动状态或晶体的振动状态。由倒易点阵基矢所张的空间称为倒易空间,可理解为状态空间(k空间)。正格子所组成的空间是位置空间或称为坐标空间 7. 晶体结构缺陷: 点缺陷: 8. 常见的半导体材料 半导体元素 9. 量子化概念 与经典物理相悖的试验现象 光电效应和入射光的频率相关,和入射光强度无关。 物质的波粒二相性 微观粒子表现出波的特性-德布罗意波(de broglie) 能量分立(Plank能量子概念) 10. 量子统计概念 量子力学中
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