第一章 真空技术基础.pptVIP

第三十一页，编辑于星期五：十七点 五十四分。 压缩式真空计 H.G.麦克劳 1874年 Ｕ形管真空计 1647年后 第三节、真空度的测量 第三十二页，编辑于星期五：十七点 五十四分。 电阻式真空计 1906年 M.皮喇尼 热偶式真空计 热阴极电离真空计 1916年 O.E.巴克利 冷阴极电离真空计 1937年 F.M.潘宁 BA式电离真空计 1950年 R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特 第三十三页，编辑于星期五：十七点 五十四分。 直接测量气体压力不易，利用测定低气压下与压强有关的某些物理量，再变换后确定压强。 任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内最显著，任何方法都有测量范围，这个范围就是真空计的“量程” 没有一种真空计能够测量从大气到10-10Pa的整个领域的真空度 第三十四页，编辑于星期五：十七点 五十四分。 第三十五页，编辑于星期五：十七点 五十四分。 一、电阻真空计 定义：利用测定热丝电阻值随温度变化的真空计 第三十六页，编辑于星期五：十七点 五十四分。 工作过程：真空度↑→气体分子↓→Q↓分子从热丝上带走热量→热丝温度↑→热丝电阻R↑，可以归纳出R↑→真空度↑ 第三十七页，编辑于星期五：十七点 五十四分。 电阻真空计的测量范围为105~10-2Pa。由于是相对真空计，所测压强对气体的种类依赖性较大，其校准曲线是针对干燥的氮气或者空气的，所以被测