集成电路制造工艺光刻胶.pptxVIP

集成电路制造工艺;集成电路的发展历史;集成电路芯片显微照片;各种封装好的集成电路;1.1900年普朗克发表了著名的《量子论》 揭开了现代物理学的新纪元，并深深地 影响了20世纪人类社会的发展。;1947年圣诞前夕，贝尔实验室的科学家肖克利(William Shockley)和他的两助手布拉顿(Water Brattain 、巴丁（John bardeen)在贝尔实验室工作时发明了世界上第一个点接触型晶体管;锗多晶材料制备的点接触晶体管;集成电路的发明;1959年第一块集成电路：TI公司的Kilby，12个器件，Ge晶片;集成电路发明人，诺贝尔物理学奖（2000年）得主， Kilby博士来复旦给师生讲课，2001年5月;第十一页，共一百九十一页。;第十二页，共一百九十一页。;第十三页，共一百九十一页。;从此IC经历了： SSI MSI LSI 现已进入到： VLSI ULSI GSI; 小规模集成电路(Small Scale IC，SSI) 中规模集成电路(Medium Scale IC，MSI) 大规模集成电路(Large Scale IC，LSI) 超大规模集成电路(Very Large Scale IC，VLSI) 特大规模集成电路(Ultra Large Scale IC，ULSI) 巨大规模集成电路(Gigantic Scale IC，GSI） VLSI使用最频繁，其含义往往包括了ULSI和GSI。中文中把VLSI译为超大规模集成，更是包含了ULSI和GSI的意义。;CMOS工艺特征尺寸发展进程 ;集成电路发展的特点;摩尔定律;集成电路单片集成度和最小特征尺寸的发展曲线 ;第二十页，共一百九十一页。;IC在各个发展阶段的主要特征数据;Intel 公司第一代CPU—4004;Intel 公司CPU—386TM;Intel 公司最新一代CPU—Pentium? 4;器件结构类型 集成度 电路的功能 应用领域;按器件结构类型分类;集成度：每块集成电路芯片中包含的元器件数目;数模混合集成电路(Digital - Analog IC) ： 例如 数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器等。;标准通用集成电路 通用集成电路是指不同厂家都在同时生产的用量极大的标准系列产品。这类产品往往集成度不高，然而社会需求量大，通用性强。 ; 1. 特征尺寸 (Feature Size) / （Critical Dimension） 特征尺寸定义为器件中最小线条宽度(对MOS器件而言，通常指器件栅电极所决定的沟道几何长度) ; 2. 晶片直径(Wafer Diameter) 为了提高集成度，可适当增大芯片面???。然而，芯片面积的增大导致每个圆片内包含的芯片数减少，从而使生产效率降低，成本高。采用更大直径的晶片可解决这一问题。晶圆的尺寸增加，当前的主流晶圆的尺寸为8吋，正在向12吋晶圆迈进。下图自左到右给出的是从2吋～12吋按比例画出的圆。由此，我们对晶圆尺寸的增加有一个直观的印象。;3.DRAM 的容量 RAM (Random-Access Memory)－随机存取存储器 分为动态存储器DRAM (Dynamic )和静态存储器SRAM(Static) ;中国IC产业分布图; ??? 中芯国际集成电路制造有限公司 ??? 上海华虹(集团)有限公司 ??? 华润微电子(控股)有限公司 ??? 无锡海力士意法半导体有限公司 ??? 和舰科技(苏州)有限公司 ??? 首钢日电电子有限公司 ??? 上海先进半导体制造有限公司 ??? 台积电(上海)有限公司 ??? 上海宏力半导体制造有限公司 ??? 吉林华微电子股份有限公司 ; ??? 飞思卡尔半导体(中国)有限公司 ??? 奇梦达科技(苏州)有限公司 ??? 威讯联合半导体(北京)有限公司 ??? 深圳赛意法半导体有限公司 ??? 江苏新潮科技集团有限公司 ??? 上海松下半导体有限公司 ??? 英特尔产品(上海)有限公司 ??? 南通富士通微电子有限公司 ??? 星科金朋(上海)有限公司 ??? 乐山无线电股份有限公司; ??? 炬力集成电路设计有限公司 ???中国华大集成电路设计集团有限公司 (包含北京中电华大电子设计公司等) ??? 北京中星微电子有限公司 ??? 大唐微电子技术有限公司 ??? 深圳海思半导体有限公司 ??? 无锡华润矽科微电子有限公司 ??? 杭州士兰微电子股份有限公司 ??? 上海华虹集成电路有限公司 ??? 北京清华同方微电子有限公司 ??? 展讯通信(上海)有限公司 ; 集成电