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附件：场发射扫描电镜技术标书
一、设备用途
扫描电镜是一种多功能的仪器，广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料
的断口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等，可对导电及不导电的固体材料
进行表面形貌的观察及成分分析。场发射电镜能够实现更高分辨率的形貌观察,可实现对超
细晶材料尤其是纳米材料的表征.基于相关附件，也可以对材料在温度及应力作用下的动态
变化进行原位观察。
仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系
统、应用软件及数据处理软件、X 射线能谱分析仪（EDS ）、背散射电子衍射分析仪(EB
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