《机械装配技术(第3版)》教学课件—10无尘室基本知识.pptVIP

10.无尘室基本知识 10.1 概述 　　无尘室(Cleanroom)，亦称为洁净室或净化室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动、照明、静电控制在某一需求范围内所特别设计的房间。亦即是不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。 　　无尘室的主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。 　　无尘室用于集成电路(芯片)的生产、高价值设备的装配等方面，同时也用在医院，如器官移植等。 　无尘室有不同的等级，通常是根据每立方英尺(28升)空气中所含尘粒的数目而定的。我们将无尘室外等级分类如下： 　等级100000：每立方英尺最多含有100000个0.5微米及以上的颗粒。 　等级10000：每立方英尺最多含有10000个0.5微米及以上的颗粒。 　等级100：每立方英尺最多含有100个0.5微米及以上的颗粒。 　等级1：每立方英尺最多含有1个0.5微米的颗粒。 10.2 无尘室防的污染与控制措施 无尘室污染的来源是人、材料及各种活动。 (１）人是无尘室中最大的污染源 　人是无尘室中最大的污染源，因为人类在不断的新陈代谢，皮肤的最外一层总是在不断地脱落，并被新的一层所替代是一个自然的过程，而已脱落的皮肤细胞