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半导体厂设备工程师人员安全注意事项 摘要 半导体业对台湾整体市场影响力非常大，集成电路制造过程使用非 常多化学 品及有害气体，主要设备单位包括 Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、 Dry Etch、 Wet Etch、Photo。为了让工安人员、设备人员能够充分的了解在 FAB 内所处之 工作环境及在工作时需特别注意之安全事项，兹将设备人员所负责 之机台及该注 意之安全事项，加以汇整说明，以确实加强改善半导体厂设备工程 师人员之安 全，避免人员意外事件发生。 一、工作安全之基本观念 第 1 页 本文部分内容来自互联网，不为其真实性及所产生的后果负责，如有异议请联系我们及时删除。 一般工作现场中主要安全基本观念包括以下数点： （一）安全是工作的一部份，我们有义务要把安全做好。 （二）依据国际安全评分系统(ISRS)所统计之意外事故比率： 每６００件虚惊事故，就会伴随３０件财物损失之事故，并产生１ ０件轻 微伤害事故，最后可能产生１件严重伤害事故。 （三）任何意外事故发生，均是由日常工作中不安全的行为或不安 全的环境所造 成。 （四）落实安全管理是主管的必修课程，不是在事后补救；预防胜 于治疗。 （五）只要是涉及安全，你唯一能相信的是你自己，你必须有百分 之百的把握， 第 2 页 本文部分内容来自互联网，不为其真实性及所产生的后果负责，如有异议请联系我们及时删除。 你所做的任何行为或动作没有任何安全顾虑。所有工作人员，都必 须有预 知危险之危机意识。 （六）从事任何工作，你首先要考虑的是你自己本身的安全，再来 是周遭的人身 安全，其次才是机台与产品的安全。 （七）担任维修及保养工作时，若你发现你不够清楚，请立即停止 进行中的工作。 （八）凡事务必遵守标准程序(SOP、PM Procedure、Trouble Shooting Guide)。 从事特定维修工作，请确实按照规定穿着标准防护用具。 二、设备人员维修/保养工作通则 半导体厂中设备人员维修、保养时易造成人员安全疑虑，因此凡于 第 3 页 本文部分内容来自互联网，不为其真实性及所产生的后果负责，如有异议请联系我们及时删除。 无尘室内 从事 PM 及维修工作时，均应遵守下列规定事项，以确保安全且整 齐之高质量工 作环境。 (一)安全事项： 1、任何操作均以安全为第一考虑。 2、设备维修时，必须挂上维修中警示牌，以防止他人误动作。 3、PM 维修中，如需占用走道或掀开高架地板，工作人员必须将施 工区域用围 栏区隔，以防止危险发生；掀开高架地板作业完毕，地板盖回后， 必须确认 地板间是否平整，以维持无尘室内作业安全。 4、PM 维修时，若有接触化学品或有害气体之虞时，必须依照标准 第 4 页 本文部分内容来自互联网，不为其真实性及所产生的后果负责，如有异议请联系我们及时删除。 Procedure 做好安全防护措施，以保护本身及他人之安全。 5、PM 维修中如需要使用附属设备，如工作台车、House Vacuum 时 必须摆放适 当之安全位置，以防止人员绊倒产生危险。 6、使用IPA、H2O2、DIW 须用小瓶罐装，人员离开时须放回钢瓶座 内。 7、执行维修保养工作时，务必特别注意机台零件及工具锐角对人身 可能造成之 伤害。 (二)操作整齐注意事项： 1、任何操作均应随时保持高质量之工作环境。 2、PM 维修拆下之零件，不可放置机台或地面上，必须放置维修台 第 5 页 本文部分内容来自互联网，不为其真实性及所产生的后果负责，如有异议请联系我们及时删除。 车上或指定 收纳置物箱内，螺丝须放入螺丝盒内，如 Parts 体积庞大须暂放地 面，应放 置安全，不得妨碍他人之作业安全。 3、PM 维修使用之工具须摆放整齐，人员离开时必须放在工作台车 上或放回工 具箱内。 4、PM 维修使用完之无尘布、棉花棒等，必须立即丢入垃圾筒及垃 圾袋内，以 保持工作环境之整洁。 5、搬运物品时必须轻提轻放，不可用拖拉方式移动物品。 6、PM 维修时，禁止使用货架台车暂放零件或运送零件，以维护货 架台车之清 第 6 页 本文部分内容来自互联网，不为其真实性及所产生的后果负责，如有异议请联系我们及时删除。 洁，PM 工作台车使用完毕，必须保持干净清洁，放置于规定地方。 7、House Vacuum 使用完毕后，须 check house outlet 之铜盖是否盖 上及密合， 使用电源插座完毕后，须 check 电源座是否推回地板面，盖子是否 盖上。 8、工作中或暂时休息，皆不可坐于桌面及地板或脚踏板上。 9、工作完成后，请检视周遭环境确保整齐清洁。 三、设备人员单位简介及安全概述 半导体厂设备单位一般包括 Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、Dry Etch、 Wet Et