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Semiconductor:半导体
MFG (Manufacture):制造部
Wafer :晶片
Boule:晶锭
Ingot:晶棒
As cut wafer:毛片
Particle:含尘量/微尘粒子
Pod :晶盒
Cassette: 晶片夹
Clean Room:洁净室(Class 100000 以上)
MO( Miss Operation):误操作
Process Engineering:制程工程师,简称为P.E.简单称为制程。
Equipment Engineering:设备工程师,简称为E.E.简单称为设备。
Recipe:
PM(Prevention Maintenance): 预防保养
Alarm :警讯
OI (Operation Instruction) :规定的标准的正确操作机台的方法的文件
半导体专业词汇汇总
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