成电微电子微电子器件2-5.pptxVIP

§ 2-5 基极电阻; 由电阻公式： 可知，;1、方块电阻; 对于矩形的薄层材料，总电阻就是 乘以电流方向上的方块个数，即:;发射区：; 方块电阻还可以用来表示掺杂总量或多子电荷总量。 例如对于有源基区，其掺杂总量和多子电荷总量可分别表为：;( 1 ) 内基区电阻 rb’ ;2、 rcon 与 rb;1）单基极条;;3）圆环形基极条;3、 rb’ 与 rcb;令:; 为了降低 rcon 与 rcb ，通常在基极接触孔下进行重掺杂，就是对部分无源基区进行重掺杂。;2) 双基极条;;3）圆环形基极;圆环行基极: