二次配工程规范.docxVIP

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2022-06-13 发布于天津
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二次配工程规范.docx

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气体管线二次配工程规范中纬积体电路（宁波）新建工程 CONTENTS PAGES 目的范围文件送审施工说明其他说明验收标准 7. 保固期限目的为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护Hook Up二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。范围制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范围， GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点（含支管），PH2、SiH4、 SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH《 SiH4/N2气瓶柜出口接至机台（含 VMB），其他特殊气体自位於气体房或Subfa