制绒原理及相应问题的对策.pptVIP

表面油脂货摊沾污的结果 减缓去损伤层的量 无法形成织构化的成核 表面织构化无法形成 第二十九张，课件共五十七张，编辑于2022年5月 制绒注意事项 1、加强制绒前硅片表面的处理，包括表面的清洗及去除损伤层（粗抛） 2、控制硅酸钠含量，包括粗抛及制绒两道工序 第三十张，课件共五十七张，编辑于2022年5月 表面油脂去除方案 有机溶剂+超声——有机溶剂溶解有机物质 酸性液体去除法——如RCA工艺：热硫酸煮硅片 表面活性剂 NaOCl热处理——利用O自由基的强腐蚀性 第三十一张，课件共五十七张，编辑于2022年5月 方案一、利用NaOCl预清洗 第三十二张，课件共五十七张，编辑于2022年5月 实验条件 ? 1 2 传统织构化工艺 NaOH (8%，75?C，2min) NaOH(2%)+IPA(7%) 新工艺条件 NaOCl(12%，80?C，15min) NaOH(2%)+IPA(7%) 第三十三张，课件共五十七张，编辑于2022年5月 硅片表面的沾污之一 FTIR谱 存在： C=O拉伸键 S-C-O键 烷基硫酸盐 第三十四张，课件共五十七张，编辑于2022年5月 硅片表面的沾污之二 FTIR谱 存在Triazines (C3N3Y3) 第三十五张，课件共五十七张，编辑于2022年5月 存在沾污的结果 第三十六张，课件共五十七张，编辑于2022年5月