扫描式电子显微镜原理简介.pptVIP

四.影像侦测记录系统 扫描电镜可接收样品发出的多种信号成像，其中二次电子信号图像质量如分辨率、立体感、景深等方面都较好。 第三十页，共四十二页。 影像的产生 由灯丝释出的电子经过一系列电磁透镜后被聚成一细微的电子束照射在样品表面，并由扫描线圈使电子束在样品表面规则来回扫描。由于镜柱中的扫描状态与TV屏幕上的扫描同步，因此在样品表面上的每个扫描点，因电子束的作用所产生的二次电子或背向散射电子，只要能进入接收器，便会经过放大后，在TV屏幕相对的扫描位置上产生亮点。换句话说产生二次电子或背向散射电子越多，屏幕上光点越亮，讯号少，光点越暗，因此就可在屏幕上由亮暗光点完整的影像。 第三十一页，共四十二页。 OM，TEMSEM的成像原理 第一页，共四十二页。 OM，TEMSEM的比较表 第二页，共四十二页。 扫描电镜的优点 高的分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子枪的应用得到普及，现代最先进的扫描电镜的分辨率已经达到0.6纳米左右，钨灯丝扫描电镜的分辨率一般在3nm左右。 有较高的放大倍数，20-40万倍（钨灯丝4~10万倍）之间连续可调； 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构 试样制备简单。 不仅仅是一个放大镜。可选配X射线能谱仪和EBSD系统，这样可以同时进行显微组织性貌的观察、微区成分分析和微区晶体学分析。 第三页，共四十二页。 Optical Microscope VS SEM 第四页，共四十二页。 扫描式电镜结构原理图 电子显微镜分为四部分： 1.照明系统 2.成像电磁透镜系统 3.样品室、真空及电气系统 4.影像侦测记录系统 第五页，共四十二页。 扫描式电子显微镜放大原理 第六页，共四十二页。 一.照明系统 1.电子枪：发射电子束的电子源。 2.聚光镜：其作用主要是把电子枪的束斑逐渐缩小，是原来直径约为50mm的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。扫描电镜一般有三个聚光镜，前两个透镜是强透镜，用来缩小电子束光斑尺寸。第三个聚光镜是弱透镜，具有较长的焦距，在该透镜下方放置样品可避免磁场对二次电子轨迹的干扰。 第七页，共四十二页。 电子枪的结构 1.阴极:钨丝等 2.栅极:威尔罩 3.阳极 第八页，共四十二页。 电子枪的分类 作为阴极的电子源有三类： （1）钨丝 （2）LaB6丝 以上两类都是由热游离原理产生电子； （3）场发射枪，由强电场将电子吸出，即由场发射原理产生电子。 第九页，共四十二页。 钨丝电子源 右图是钨丝电子源，使用钨丝时乃直接加热。钨丝成Ｖ形，当达到足够温度时(一般操作温度为2700Ｋ)，发射电子束。其寿命在10-6Torr的真空下平均约40—80小时,TESCAN VEGAⅡ的灯丝寿命约为150~200小时。 第十页，共四十二页。 场发射枪 右图是场发射枪,它由场发射原理产生电子。场发射枪加负电压于金属尖端上,所加强电场由此尖端吸出电子而形成发射电流。场发射枪拥有比钨灯丝枪小得多的斑和高得多的亮度。 场发射枪的灯丝寿命约为8000~10000小时。 场发射枪分为热场发射和冷场发射两种。 第十一页，共四十二页。 二.成像电磁透镜系统 1.聚光镜 分类：单聚光镜式 双聚光镜式 作用:将电子枪发出的电子会聚于样品表面,并调节样品平面处的电子束孔径角、电流密度和照明光斑半径。照明光斑过大时，会使样品受热产生热漂移和污染。为了有效解决这个问题，较新的电镜一般都采用双聚光镜系统。 第十二页，共四十二页。 扫描式电子显微镜的透镜系统 M1=b1/a1 M2=b2/a2 M3=b3/a3 Cross Over Point(d0) 透镜系统中的所用透镜都是缩小透镜，起缩小光斑的作用。缩小透镜将电子枪发射的直径30μm电子束缩小成几十埃，由两个聚光镜和一个末透镜完成，三个透镜的总缩小率约为2000~3000倍。 第十三页，共四十二页。 扫描式电子显微镜的透镜系统 M1=b1/a1 M2=b2/a2 M3=b3/a3 Cross Over Point(d0) 两个聚光镜分别是第一聚光镜和第二聚光镜，可将在阳极孔附近形成的交叉点缩小。 物镜有两个极靴，分别为上极靴和下极靴。通常用纯铁或铁钴合金作为极靴材料，并要求有高饱和磁通密度、磁导率高、机械加工性能好、化学性能稳定等。 第十四页，共四十二页。 球差 (Spherical Aberration) 简单薄透镜 Simple thin lens Paraxial ray 旁轴光线 Peripheral ray 边缘光线 Optical axis 光轴 Objective plane 物面 Longitudinal aberration 轴向球差 Transverse aberration 横向球差 Su