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ZHD-300F 真空蒸镀手套箱一体机使用说明 1. 依次打开电源、机械泵、前级阀和真空计 2. 观察真空计至前级真空 ≤ 5 Pa 3. 关前级阀，开旁路阀，观察真空室真空度至 ≤ 5 Pa 4. 关旁路阀，开前级阀，开主阀，当前级真空 ≤ 5 Pa 真空室真空度 ≤ 10 Pa 条 件下才能打开分子泵电源 5. 观察真空度至 1×10- 1 Pa，转至高真空测量直至到达要求极限真空度为止 6. 测试结果符合要求， 既可开始对真空测量容器进行正常的镀膜操作至此整个 安装调试结束，若需立即投入镀膜操作，则按下列步骤进行： 7. 关闭高真空测量，关闭高真空阀，开放气阀对真空室充气。 (充气完毕后即 刻关闭放气阀) 8. 打开真空容器， 做好一切容器内的安排工作及其它准备工作， 封闭好真空室。 9. 关前级阀、打开旁路阀预抽真空室，使真空室内的压力小于 5 Pa。 10. 关闭预抽阀，打开前级阀同时打开主阀，待真空度达到 1×10- 1 Pa 转至高真 空测量，直至所需的真空度为止。 11. 进行真空镀膜操作(详细)，直至操作全部结束，再按 9~12 步骤进行下一 次工作。 12. 关机 13. 关闭高真空测量，关闭高真空阀，开放气阀对真空室充气。 (充气完毕后即 刻关闭放气阀) 14. 取出工件，封闭好真空室 15. 关分子泵，约 7 分钟分子泵