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涡旋真空泵的发展历史 涡旋理论是法国人 Leno Creux 于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20 世纪 70 年代开始，能源危机的加剧和高精度数控机床的出现,为涡旋机械的发展带来了机遇,1973 年美国 Arthur D. Little(简称 A.D.L)公司首次提出了涡旋氮气压缩机的研究报告，展现出涡旋压缩机所具有其他压缩机无法比较的优点，从而涡旋压缩机大规模的开发和研制走上了迅速发展的道路。  随着半导体、新材料和生物制药等行业的飞速发展，涡旋理论的不断成熟以及人们对真空环境清洁无油的迫切要求，涡旋真空泵以其独特的优点应运而生。20世纪80年代早期，涡旋真空泵以其密封性好，返油率低的特性被Coffin Do应用在高真空系统中。1987年,日本三菱电机公司首次成功开发回转型涡旋真空泵, 在构造和性能上显示了绝对的优势。1988年,立式回转型油润滑涡旋真空泵由日本东京大学的Morishita E研制成功。  干式真空泵与油润滑真空泵的区别在于,泵腔内不含任何的油类和液体。因此,解决泵内的密封和冷却问题是干式涡旋真空泵研究的关键。1990年，采用水冷方式开展冷却的卧式干式涡旋真空泵由 Kushiro T研制成功。1998年，采用风冷方式开展冷却的干式涡旋真空泵由 Sawada T研制成功，其主轴上装有两个冷却风扇，分别位于两个静盘的端部。  涡旋真空泵按两涡旋盘运动方式的不同可分为两种类型：公转型和回转型。  公转型涡旋真空泵中的一个涡旋盘固定不动，称为静涡旋，另一个涡旋盘称为动涡旋盘。电机带动曲轴旋转，曲轴推动动涡旋盘基圆圆心绕静涡旋盘基圆圆心做半径为 r(两涡旋盘之间的径向距离)的圆周运动，由防自转机构限制动涡旋盘不能自转。其中电机转速通常约为1500r/min，此时泵的极限真空度较高，并随电机转速的变化极限真空度变化较小。  回转型涡旋真空泵中两个涡旋盘都是动涡旋盘，它们同步同方向各自绕自身基圆圆心旋转，相对运动仍为公转平动。  两种型式的涡旋真空泵，公转型式的构造简单、零件少，回转型式的构造复杂、零件多。目前多数厂家的涡旋真空泵产品都为公转型。  国内外已投放市场的涡旋真空泵主要有：美国Agilent公司的双面涡旋真空泵、英国 Edwards公司的单面单头涡旋齿涡旋真空泵、德国 Busch 公司生产的涡旋真空泵、中国科学院***科学仪器研制中心公司的双面单头涡旋齿涡旋真空泵，等等。