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真空镀膜机比较片机构性能和强度的优化设计 分析现有光学真空镀膜机比较片机构在使用过程中存在的问题。根据现代光学真空镀膜机的发展趋势和实际生产中急需解决的问题，通过多方面的研究分析，优化设计新一代的镀膜机比较片构造，解决影响光学薄膜质量和超多层精细光学薄膜镀制的问题，以提高薄膜的监控精度，实现系统的自动控制，提高光学真空镀膜机生产效率，降低生产成本。使现代光学真空镀膜机的构造配置及使用效果到达最正确。  从上世纪八十年代以来，全球光电科学技术发展与进步迅猛，我国研发光学真空镀膜机设备，在引进消化吸收的根底上，也迅速发展起来。最近二十多年，我国逐渐成为全球光学产品的加工基地，作为光学产品的关键工序，也是最后一道工序-- 镀膜，要求越来越高，真空镀膜机性能和配置也必然要得到加强，提高设备质量、完善设备性能、提高生产效率等问题就显现出来，这就涉及到此类设备的改造、设计研发，要求相关技术人员去解决。  真空镀膜机比较片机构就是该类设备的必不可少的关键部件，高端配置的设备比照较片机构要求越来越高，真空技术网(http:///)认为它对镀制多膜层的检测和生产效率有着重要的不可替代的作用。下面就真空镀膜机比较片机构在使用中的出现的问题，以及优化创新设计后的构造开展比照分析。 1、现有真空镀膜机比较片机构  1.1、通用的镀膜机比较片构造  国内低端的真空镀膜机，从发展之初到近10年左右，大多还沿用的该比较片构造，如图1 所示。此比较片换位机构，通常由6 个独立的直径Φ22mm 的比较片组成，如图1(b)。该机构主要由1 个托盘16、三个支撑杆110 及1 个比较片盘18 组成，如图1(a)，三个支撑杆110 对托盘16起固定、支撑的作用，比较片盘18 靠齿轮啮合把运动输入使之旋转拨片，三者配合就完成拨片换位动作。由于一般的镀膜机真空室直径尺寸都不大，整个机构的直径(Φ124mm)相比较就有些偏大，导致工件盘上可装载的镀制工件面积比较小，并且该机构只可放置6 个比较片13，直接影响生产效率。  该构造的特点是：构造简单，加工制造方便，安装实施方便易行。缺点：该构造直径面积比较大，影响装载工件的数量；比价片放置数量少，降低了生产效率；强度和刚度有限，又由于该构造完全暴露在真空室内，真空室内高温溅射磨料的影响，使转动平稳性、灵活性一般，传动位置重复的一致性误差较大，清洗维护频繁。  图1 通用的镀膜机比较片构造  1.2、改良后的镀膜机比较片构造  根据现有比较片构造在使用过程中暴露出的问题，对原有通用镀膜机比较片构造开展多次的改良，形成以下的构造，如图2(a)、(b)所示。通过设计可重叠放置比较片存储筒，使比较片机构直径所占面积减小，但放置的比较片数量增加到20 片左右， 整个机构直径缩小为Φ89mm。结果可增加较小工件镀膜盘上装载工件的数量，提高生产效率，还可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的自动控制。  具体动作实施，改良后多片比较片机构的转动，通过连接板23 和连接块21 固定在真空室顶板上，比较片机构的旋转运动，由旋转密封轴把运动输入真空室内的大齿轮，带动小齿轮所在传动轴24 的转动，最终实现整个比较片机构的转动。比较片切换比较片时，通过拨盘29 转动一个工位，比较片存储筒219 内落下一个比较片，到达预设的位置，同时，切换的比较片随着工位转动落在比较片承受筒212 内，每切换一次，拨动一个工位。其中，传动轴24、大齿轮、小齿轮和轴承座组成的传动机构来完成拨盘转动。  其特点是：(1)减小比较片机构直径的面积，提高装载镀制工件的数量；(2) 增加比较片的数量，提高生产效率，提高薄膜监控的精度，降低对硬件系统的要求，系统容易实现自动控制。缺点：该比较片构造直径小而长(Φ89×370)，影响其使用的强度和刚度；由于该构造暴露在高温溅射磨料的真空室内，影响其转动平稳性、灵活性，且转动位置重复的一致性较差，维护清洗频繁费工。 2、镀膜机比较片优化设计机构  在真空镀膜机发展过程中，真空镀膜机比较片在光学镀膜机中担负着装载比较片的功能。比较片装载数量少，限制光学薄膜的镀制层数；比较片有效面积小，光路调整不方便，光信号的信噪比差，严重影响光学薄膜的质量。根据现在镀膜产品的要求，现有的真空镀膜机比较片机构，已不能满足现代光学30 层以上精细光学薄膜的镀膜要求。为解决现有技术上存在的缺陷，综合以上两种比较片构造优缺点和新产品镀膜的要求，创新、优化设计新一代的比较片机构，该装置要满足：构造简单；比较片装载方便；重复定位性好；可靠性高；制造成本低等特点。  真空镀膜机多片式比较片装置，有比较片装载换位机构、转动密封馈