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真空镀膜制备太阳能热吸收涂层 本文介绍了选择性太阳能热吸收涂层的制备方法及发展状况，重点描述了真空镀膜在金属卷材上制备选择性太阳能热吸收涂层。该涂层用在平板太阳能集热器上，促进了太阳能集热器由单一的真空玻璃管型向金属平板型的转变。  太阳能在光热方面的利用，是人类向科学发展、可持续发展迈进的必然之路。中国的太阳能集热利用处在真空管太阳能集热器与平板太阳能集热器共生共存的应用局面，应用领域正从生活用热水向采暖、干燥、制冷、蒸汽方面发展。随着太阳能热利用产业的不断发展，太阳能集热器的效率越来越引起业界的重视与研究。  为了提高集热器的效率，人们在不断地探索热吸收材料，即热吸收涂层的制备及吸热性能的提高。太阳能选择性热吸收涂层的研究与生产，是解决材料热吸收效率有效而可行的方法，使涂层的光学性能在太阳光谱可见光区域和近红外区域最大限度地吸收其能量，而又保证所吸收的能量不会快速损失。 1、新越太阳能热吸收涂层制备的工艺流程  目前现有的涂层技术所制备的热吸收涂层可分为四种不同的工艺方法：  1)其一是电镀涂层。它是利用常规的电镀方法，在金属表面沉积一层黑色铬膜或黑色镍膜。这种涂层具有较好的吸热性能， 吸收率α 为85%～90%，发射比ε 为15%～25%。  2)其二是电化学转化涂层。它是利用电化学的方法，使金属表面通过化学反应形成一层黑色的化合物薄膜。这种涂层也有较好的吸热性能，吸收率α 为82%～88%， 发射比ε 为15%～32%。  3 )其三是喷涂、溶胶涂层。它是利用喷涂或溶胶的工艺手段，将硅胶金属粉体混合剂，喷涂到金属表面，形成一层薄膜。这种涂层耐候性好，但涂层性能衰减很快。其热吸收率α 为90%～93%，发射比ε 为30%～40%。  上述三种涂层的制造成本相对较低，虽然热吸收率在90%左右，但它们的热发射比均超过15%以上。也就是说，吸收来的太阳能，大部分迅速损失，从而导致集热器的热效率不高。由于上述三种涂层性能的局限性，促使相关领域的科研人员不得不开发研究新的技术和工艺方法，来获得高品质的太阳能热吸收涂层。至此真空镀膜技术在太阳能热吸收涂层上得到了成功应用，这就是第四种热吸收涂层的制备方法。  利用真空镀膜技术而制备的太阳能热吸收涂层，是在真空条件下，采用磁控溅射、电子束蒸发工艺，在金属板材或金属卷材上镀上多层金属氮化物、金属氧化物、金属氮氧化物，形成多层叠加的热吸收膜系，这种膜系对太阳光辐射能量具有优秀的选择吸收功能。此真空涂层的优点在于它不仅有优越的热吸收光学指标，太阳能热吸收率≥95%，热辐射发射比≤5%，而且耐候性、耐盐雾性、热老化性均优于其它工艺制备的热吸收涂层。  **新越科技根据中国平板太阳能集热器市场的需求和热吸收涂层技术的发展趋势，引进了德国目前世界上最先进的金属带真空镀膜生产线。下面就设备特性、工艺状态及真空镀膜涂层的相关技术问题做出介绍，供大家参考和讨论。  该设备主要在金属板材表面上通过真空镀膜来获得太阳能热吸收板材(即业界通称的蓝膜板芯)。同步连续生产的金属带运行速度能够到达10 m/min，超高的生产效率是新越连续式真空镀膜设备最大的优点之一。应用真空镀膜设备多功能一体化的卷绕型生产模式，从放卷设备上将成卷的铝材导出，通过带材缓存装置进入真空镀膜工艺腔室前端的带钢闸口部分。带钢闸口腔室内的密封辊使金属带进入一个真空梯度逐级递减的区间，保证带材在进入镀膜工艺腔室之前到达所需的本底和工作真空度。设备配备有等离子体溅射刻蚀预处理装置，对进入镀膜工艺腔室的金属带表面开展处理。在提升基材温度的根底上，去除基材表面吸附的水蒸汽、其它杂质气体及较薄的氧化物层，同时也可以通过表面激活作用来实现后续涂层在金属基材表面更好的附着性。  镀膜工艺部分：利用直流磁控溅射制备选择性太阳能热吸收涂层的红外高反射层；其次，使用孪生旋转靶中频反应磁控溅射制备化合物主吸收层和金属陶瓷阻挡层；最后应用双电子枪旋转坩埚蒸发工艺制备SiO2 石英玻璃增透减反层。这几种典型的真空镀膜工艺都属于环保的PVD 技术，沉积速率高、适用于大面积真空镀膜工业化生产领域。  图1 直流磁控溅射原理图  图2 中频磁控溅射原理图  金属带在经过镀膜后同样会进入一个带钢闸口腔室，实现镀膜工艺腔体和大气的衔接。这种大气到大气的连续式真空镀膜技术使得蓝膜涂层的生产效率更高，保证涂层具有最高的品质和光学指标。图4 为新越太阳能热吸收蓝膜工艺流程图。  图3 双电子枪旋转坩埚蒸发原理图  图4 新越太阳能热吸收蓝膜工艺流程图 2、新越选择性热吸收蓝膜具备的技术性能  任何一种太阳能吸热体的效率都取决于其