第六章压电传感器.pptVIP

第1页，共25页，编辑于2022年，星期一 §6-1 压电式传感器工作原理 一，压电效应 顺压电效应 ： 某些电介质：施力→变形→内部极化两表面产生电荷； 去力→恢复→两表面不带电。 逆压电效应（电致伸缩效应） ： 而且，晶体受力后产生的电荷量与外力的大小成正比。 施加电场→变形 具有压电效应的材料 ，称为压电材料。 第2页，共25页，编辑于2022年，星期一 （一）石英晶体（SiO2） 天然石英晶体结构外形→正六面体 图6-1a) 水晶 光轴 电轴 机械轴（力轴） 第3页，共25页，编辑于2022年，星期一 是晶体的对称轴，光线沿Z轴通过晶体不产生双折射现象，因而其贡献是作为基准线。 Z轴——光轴（中性轴） X轴——电轴 该轴压电效应最显著。它通过两相对棱线且垂直于Z轴。X轴有三个。 Y轴——机械轴（力轴） 在此轴上加力产生的变形最大。其垂直于两相对的棱面。Y轴有三个。 x x x y l h 沿轴线切片 y y 第4页，共25页，编辑于2022年，星期一 一般用数字的下标表示压电晶体的平面或受力方向。即： 1，2，3分别表示x,，y，,z 4，5，6分别表示x,，y，,z三个轴向切向作用。 引入压电系数，dij i___在i方向上得到电荷； j___在j方向受