椭偏测厚仪主要参数及工作原理.docxVIP

- - PAGE # - - - PAGE # - 椭偏测厚仪”有关情况介绍 引言： 1、 椭偏法是一种测量光在样品表面反射后偏振状态改变的广西方 法，它可以同时测得样品薄膜的厚度和折射率。 由于此法具有非接触 性、非破坏性以及高灵敏度、 高精度等优点， 鼓广泛用于薄膜厚度及 材料的光学常数的测定。 2、 椭偏法测量数据可在短时间内快速采集， 可对各类薄膜的生长和 工艺过程进行实时监测， 故已成为半导体行业重要的在线监测设备之 一。 3、 纳米技术是当今科技的发展热点， 能精确测得纳米级薄膜厚度和 折射率的椭偏测量技术受到人们的高度重视和关注。 二、 椭偏测厚仪发展概况： 1、 椭偏测厚仪在我国起步较晚， 70 年代我国自行设计生产的椭偏 测厚仪只有“ TP-77 型 椭偏测厚仪”和“ WJZ 型 椭偏测厚仪”。基 本上是手动测量，仅配一种入射角和衬底材料的薄膜（n, d） ~ （W, △）函数表（如SiO2, 70°入射角，波长632.8nm）。 2、 90年代末，华东师范大学研制并生产了“ HST-1型”和“ HST-2 型”多功能智能椭偏测厚仪。 该仪器使用计算机技术， 利用消光法自 动完成，测量薄膜的厚度和折射率。 3、 进入二十一世纪，国内生产自动椭偏测厚仪的厂家逐渐多起来。 如：天津港东科技发展有限公司生产的 “SGC-1 型 椭圆偏振测厚仪” 、 “ SGC-