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- 2022-07-15 发布于福建
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电子行业洁净室内化学污染等级分类
化学污染物种类
化学污染物浓度等级（单位：pptM）
1
10
100
1000
10000
分子酸
MA-1
MA-10
MA-100
MA-1000
MA-10000
分子碱
MB-1
MB-10
MB-100
MB-1000
MB-10000
可凝性物质
MC-1
MC-10
MC-100
MC-1000
MC-10000
掺杂物
MD-1
MD-10
MD-100
MD-1000
MD-10000
注：表中MA-1表示气载酸类分子污染物浓度≤1pptM，1pptM=10-12摩尔浓度
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