真空材料与工艺.pptVIP

一般当四极质谱仪检测不到碳氢化合物的谱峰时或者NO的谱峰高度是CO峰高的3倍或更大时，可以结束清洗过程。通常，这个过程至少需要几个小时。 优点:实验表明用NO气体从不锈钢真空容器表面除去碳氢化合物污染的效果与用辉光放电处理方法得到的效果相近（用热脱附和光诱导脱附判断），但气体清洗所用的装置要比辉光放电清洗的装置简单，而且不需要把被清洗的容器从系统上拆下。 缺点：是NO气体对人体有害，因此在清洗工艺进行之前，必须对清洗装置做安全检查，以确定无微量泄漏。 第九十四页，共一百六十三页。 2.3 清洗的基本程序2.3.1 污染物的确定 2.3.2 清洗方法的确定 2.3.3 清洗溶剂的选择 根据被清洗材料及污染物的性质来选择合适、有效的清洗剂和溶剂是溶剂清洗方法中的一个关键。 清洗过程中，清洗液的顺序必须是化学上相容的和可溶混的，而且在各阶段都没有沉淀。 2.3.4 清洗程序及注意事项 第九十五页，共一百六十三页。 2.4 非金属材料的清洗2.4.1 玻璃陶瓷的清洗 玻璃及陶瓷件最常用的清洗方法是溶剂清洗法。 对于表面清洁度要求很高的玻璃、陶瓷部件，最后要在真空环境中进行烘烤加热处理、等离子辉光放电处理等。 在清洗液中浸泡→辅以刷洗、擦拭或超声波清洗→去离子水或无水乙醇冲洗 →（真空环境中）烘烤加热处理、等离子辉光放电处理等。 第九十六页，共一百