单晶硅设备工艺流程.pptxVIP

目录;; 1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分;;3.单晶硅料烘干：去除水分。;6.单晶炉拉晶：;7.硅棒检测：检查有无位错，棱线断等现象。;10.磨圆：将单晶硅棒四个直角进行磨圆。;线切割原理：;12.清洗：;13.单晶硅片检测：; 1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升???绍 10.加热部分;第13页/共53页;第14页/共53页;目录;; 目录;单晶炉种类：;目录;第20页/共53页; ; ; ;炉盖：;主室内部：;;;详细介绍：;4.石墨件取出冷却：升炉盖，取出导流罩，保温盖。石英坩埚等放在指定位置。 ;7.单晶炉室清洗：; ;12.冲氩气，升功率，融料：打开主室阀，打开氩气流量阀，使氩气流量在20-30L/min， 使炉内压力在1000—1500帕。功率每0.5小时加一次。;目录;晶升，晶转：;SL控制示意图：;晶升伺服电机：;;;目录;直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是指为了熔化硅料，并使单晶生长保 持在一定温度下进行的整个系统。 热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚 托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极、托 杆、都设置了保护板、保护套。 ;第41页/共53页;加热器是热场中很重要的部件，是直接的发热体，温度最高的时候可以达到1600℃以上。 常见的加热器有三种形状，筒状、杯状、螺旋状。目前绝大多数加热器为筒状，硅单晶厂房使用的是直筒式形状的加热器。右图为加热器。;;坩埚托杆、坩埚托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体，要求和下轴结合牢固，对中性良好，在下轴转动时，托杆及托盘的偏摆度≤0.5mm。 支撑体的高度是可以调节的，这样可以保证熔料时，坩埚有合适的低埚位，而拉晶时，有足够的埚跟随动行程。;;;;压环，由几截弧形环构成的一个圆形环状石墨件，它放置在盖板与炉壁接触处，是为了防止热量和气体从炉壁与盖板的缝隙间通过。 右上图是压环，右下图为安装后的效果图。 ; ; ; ②加热器与石墨坩埚的对中：转动托碗，调整埚位，让石墨坩埚与加热器口水平（此时的埚位成为平口埚位），再稍许移动加热器电极，与托碗对中，这时石墨坩埚和加热器口之间的间隙四周都一致。 ; 煅烧 新的热场需要在真空下煅烧，煅烧时间约10小时左右，煅烧3～5次，方能投入使用。使用后，每拉晶4～8炉后也要煅烧一次。 煅烧功率，不同的热场不一样，一般要比引晶温度高，炉子煅烧最高功率一般在110KW。 ;感谢您的观看！