材料现代分析测试方法4.pptxVIP

第一节 离子探针（SIM） ;离子探针微区分析仪，简称离子探针。在功能方面离子探针与电子探针类似，只是以离子束代替电子束，以质谱仪代替X射线分析器。 同电子探针相比，离子探针可以对更薄表面层进行分析（5nm）；可对包括氢在内的轻元素进行分析，检测的灵敏度高；可探测痕量元素；可作同位素分析。 其主要功能见下表。 ;表 离子探针的主要分析功能; （一）离子探针的工作原理 离子探针的原理是利用细小的高能（能量为1~20keV）离子束照射在样品表面，激发出正、负离子（二次离子），利用质谱仪对这些离子进行分析，测量离子的质荷比（m/e）和强度，确定固体表面所含元素的种类及其含量。;（二）离子探针的结构 离子探针由二部分组成： 一次离子发射系统 二次离子分析系统 离子探针仪的结构如下图。;图 离子探针原理图 ;1. 一次离子发射系统 用于照射样品。 由离子枪、扇型磁铁、电磁透镜组等组成。 功能：形成由能量相近离子组成的束斑细小的高能离子束。 常用几百电子伏特的电子束轰击气体分子，使气体分子电离，产生一次离子。;产生的一次离子在电压（12~20keV）的加速作用下，离子