【哈工大-微纳米技术】微纳米粒子的形貌表征--.pptxVIP

微、纳米结构的形貌表征;微纳米检测技术;测量和测量系统;几个概念;微纳米检测技术的任务;几个重要的分辨率;显微镜的发展;显微镜的发展;9;分辨率 (Resolution) 显微镜能分辨的最小距离，用D表示。显微镜的鉴别距离越小，分辨率越高。满足瑞利判据（艾里斑）： D = 0.61? / nsin? 其中：D为分辨率；?为光波波长；n为介质折射率；?为物镜孔径角。 孔径角 由标本上一点发出的进入物镜最边缘光线L和进入物镜中心光线OA之间的夹角?称为孔径角。 数值孔径 (NA, Numerical Aperture) ???义NA = nsin?，称为物镜的数值孔径。 数值孔径与显微镜的分辨率有密切关系，?越短，NA越大，分辨率越高。;点光源经过光学仪器的小圆孔后，由于衍射的影响，所成的像不是一个点，而是一个明暗相间的衍射图样，中央为艾里斑。;瑞利判据;扫描电子显微镜 （scanning electron microscope， SEM）;扫描电镜 SEM;What happen when a beam of electrons hit a sample? ; 背散射电子  它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量 E0。;Why SEM was developed?;特点 ; (2) 扫描系统  扫描系统由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是： 1) 使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描； 2) 改变入射束在样品表面的扫描幅度，从而改变扫描像的放大倍数。 ; (3) 信号收集和图像显示系统 扫描电镜应用的物理信号可分为： 1) 电子信号，包括二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测，其他电子信号用电子收集器； 2) 特征X射线信号，用X射线谱仪检测；;1．二次电子象;背散射电子像;扫描电镜的主要特点;放大倍率高;? 分辨率高;景深D大 ;多孔SiC陶瓷的二次电子像;保真度好;样品制备简单 ;SEM在材料分析中的应用;1．材料表面形态（组织）观察;2．断口形貌观察;2．断口形貌观察;3．磨损表面形貌观察;4．纳米结构材料形态观察;5．生物样品的形貌观察;;原子序数衬度像;Ⅰ 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscope-STM Ⅱ 原子力显微镜 Atomic Force Microscope-AFM;Ⅰ扫描隧道显微镜;一、STM的背景知识; STM的背景知识;STM的优点;;STM简介;二、STM的基本原理;二、STM的基本原理; 扫描隧道显微镜是将原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近时(通常小于 1 nm)，在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极。隧道电流 式中Vb——加在针尖和样品之间的偏置电压； Φ——平均功函数； A——常数，在真空条件下约等于1。; 由前式可知，隧道电流强度对针尖和样品之间的距离有着指数的依赖关系，当距离减小 0.1nm，隧道电流即增加约一个数量级。 因此，根据隧道电流的变化，我们可以得到样品表面微小的高低起伏变化的信息。如果同时对X、Y方向进行扫描，就可以直接得到三维的样品表面形貌图。 ;Problems External vibrations Thermal drift Electronic noise STM tips;;STM instrumentation;STM的基本结构;;针尖的制备;STM的基本结构;STM的基本结构;电子学控制系统;STM扫描模式—恒流模式;STM扫描模式—恒高模式;Imaging modes;STM的其它工作模式;STM典型图像举例;STM典型图像举例;;V = 0.1 V, I = 0.5 nA ;67;在STM的恒流工作模式下，有时它对样品表面微粒之间的某些沟槽不能够准确探测，与此相关的分辨率较差。 STM所观察的样品必须具有一定程度的导电性。 动态特性差，时间分辨力低 ;扫描隧道显微加工技术;纳米级加工方法;扫描隧道显微加工原理;;移动原子——世界上最小的广告 ;1990年，美国圣荷塞IBM阿尔马登研究所D.M.Eigler等人在超真空环境中，用35个Xe原子排成IBM三个字母，每个字母高5nm，Xe原子间的最短距