山东科翰硅源新材料有限公司年产10万吨高纯纳米二氧化硅溶液、年产18万吨硅酸钠硅酸钾溶液、2万吨硅酸锂溶液、高纯纳米二氧化硅衍生电子胶产品项目环评报告书.pdf

山东科翰硅源新材料有限公司 年产 10 万吨高纯纳米二氧化硅溶液、年产 18 万吨硅酸钠硅酸钾溶液、2 万吨硅酸锂溶 液、高纯纳米二氧化硅衍生电子胶产品项目 环 境 影 响 报 告 书 （公示版） 建设单位：山东科翰硅源新材料有限公司 环评单位：山东格勤环境管理有限公司 2022 年 6 月 山东科翰硅源新材料有限公司年产 10 万吨高纯纳米二氧化硅溶液、年产 18 万吨硅酸钠硅酸钾溶 液、2 万吨硅酸锂溶液、高纯纳米二氧化硅衍生电子胶产品项目环境影响报告书 概 述 1、项目由来 纳米二氧化硅溶胶的发展始于 1915 年，发明人 Schwerin 首次以水玻璃为原料用电渗 析法制得浓度较稀的硅溶胶，含 SiO2 质量分数为 2.4% ，不过由于浓度太低，难以得到实 际应用。随着美国孟山都公司在 1945 年申请了用离子交换法生产硅溶胶的工艺，以及杜 邦等其他公司对离子交换法的改进（如 US2631134A ），硅溶胶得以大规模的生产和应用， 同时在该阶段出现了将硅溶胶应用于抛光液的技术。硅溶胶的相关专利是由该公司申请 的，关于二氧化硅溶胶应用于硅晶圆片的抛光第一件专利也是由孟山都公司在 1965 年提 出的，早期对纳米二氧化硅抛光技术领域的贡献不容忽视。1976 年-1991 年间，在这个阶 段，全球已经涌现出大量的企业投身该技术领域的研究，尤其以美国和日本为首的，中 国纳米二氧化硅技术发展是从 1989 年开始，该技术领域主要分布在日本、美国、中国、 韩国、欧洲等一些国家，排名第一位的国家是日本，在该技术领域专利申请占比为34%， 占据全球的 1/3，如日本知名企业日本扶桑、福吉米公司、日产化学公司、三菱公司等都 在纳米二氧化硅领域有所建树，美国专利在全球占比为20% ，其中在该技术领域专利数量 有代表性的企业，如美国卡博特公司以及陶氏公司，是美国是纳米二氧化硅抛光液领域 的引领者，最早涉及该技术的企业就是美国的孟山都企业；除以上三个国家外，在该技 术领域相对比较活跃的包括韩国和德国，而中国纳米二氧化硅技术的发展，起源于 1989 年，直至 2015 年，开始研究芯片级二氧化硅抛光材料的研究。 硅溶胶是一种绿色无机纳米材料，是无定型二氧化硅粒子在水中的分散体系。具有 优良的稳定性、粘结性、成膜性、凝胶性、吸附性等；产品无毒、无味等；被广泛应用 于铸造、电子、纺织、造纸、涂料、耐材等诸多行业，用于生产电子 CMP 抛光、高端精 密铸造、航天航空耐高温材料、高硅沸石催化剂、无机涂料、净水剂、食品添加剂等， 市场应用前景广阔。 随着电子产品日新月异的发展，电子芯片从 65 纳米已经发展到 5 纳米芯片时代，对 于芯片的抛光，精密度也越来越高，因此，对于 CMP 初、中、精抛的纳米二氧化硅要求 不仅要颗粒度、纯度要求越来越高，该项目投入建设高纯度纳米二氧化硅胶体项目，建 设高纯硅溶胶的产业，对中国硅溶胶及应用行业发展具有一定的推动作用。 随着电子产品日新月异的发展，电子产品的精密度不断的提升，很多电子元器件在 使用中会产生热量，很容易造成电子元器件结温过热，使电子产品产生故障，影响电子 i 山东科翰硅源新材料有限公司年产 10 万吨高纯纳米二氧化硅溶液、年产 18 万吨硅酸钠硅酸钾溶 液、2 万吨硅酸锂溶液、高纯纳米二氧化硅衍生电子胶产品项目环境影响报告书 产品的使用寿命。所以，高效散热成了设计重点，在微芯片处理器，LED 和电源包上表 现的特别明显。为了解决这一问题，制造厂家一般都会在电子产品内灌注电子灌封胶充 当导热材料，将电子产品内部的温度高效的传导到散热外壳上，从而提高电子产品的散 热能力。 故此，山东科翰硅源新材料有限公司投资 14000 万元在山东省临沭县临沭经济开发区 大西街南侧山东科翰硅源新材料有限公司厂内建设“ 山东科翰硅源新材料有限公司年产 10 万吨高纯纳米二氧化硅溶液、年产 18 万吨硅酸钠硅酸钾溶液、2 万吨硅酸锂溶液、高纯纳 米二氧化硅衍生电子胶产品项目” 。 根据《中华人民共和国环境影响评