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7. 样品制备 扫描电镜的最大优点是样品制备方法简单，对金属和陶瓷等块状样品，只需将它们切割成大小合适的尺寸，用导电胶将其粘接在电镜的样品座上即可直接进行观察。 对于非导电样品如塑料、矿物等，在电子束作用下会产生电荷堆积，影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降。因此这类试样在观察前要喷镀导电层进行处理，通常采用二次电子发射系数较高的金银或碳膜做导电层，膜厚控制在20nm左右。 8. 扫描电镜应用实例 断口形貌分析 纳米材料形貌分析 在微电子工业方面的应用 1018号钢在不同温度下的断口形貌 8.1 断口形貌分析 ZnO纳米线的二次电子图像 多孔氧化铝模板制备的金纳米线的形貌（a）低倍像（b）高倍像 纳米材料形貌分析 （a）芯片导线的表面形貌图 （b）CCD相机的光电二极管剖面图 8.3 在微电子工业方面的应用 主要特点 Windows NT界面 独特的二次电子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式) VP可变压力模式分辨率 4.0nm (25kV,可变压力模式) 放大倍数范围 5x~300,000x 加速电压 0.3kV~30Kv 可变压力范围 1~270Pa 最大样品尺寸 150mm直径 图像移动范围 ±20μm(WD=15mm) 样品台(选项) 电子枪： U型钨丝 枪偏压 可加速电压关联 可变电压(双偏压功能) 检测器 SE检测器 BSE检测器，可变压力模式 SEM操作 鼠标、键盘旋钮控制盘(选件) 扫描方式 TV,慢速(4步),照相(4步 旋钮和鼠标控制都可以用于SEM参数设置。 S-3000N是可变压力的SEM 显示器 大屏幕 XGA彩色显示器(1024 x 768像素) 自动调节功能 自动聚焦，自动像散校正 自动亮度和对比度调节 自动灯丝饱和度调节 数字图像储存 640 x 480像素 图像格式 BMP 图像数据条显示 : 加速电压，放大倍数， 微米标尺,WD(工作距离), 照片放大倍数 ,真空度水平,检测器,日期,文件号等 真空系统 : 全自动，DP 570L/Sec， RP 160L/min x 2 (S-3000N) RP 160L/min x 1 (S-3000H) 系统保护 断电、失真空和缺水保护 S-3000N是可变压力的SEM 谢谢！ 电子显微镜技术在白血病诊断中的应用 小组成员 李耀扬 刘玉龙 王 妍 马 骁 王 贺 指导教师 吴 岩 教授 2007级电子显微镜技术硕士研究生课程 概述 电子显微镜 比光学显微镜有更高的分辨率和放大倍数，其分辨率可为光镜的100倍，可以观察到细胞当中的超微结构。 分类 透射电镜：主要用于观察细胞内部的 扫描电镜：可直接观察标本表面的三 超微结构。 维形态。 概述 白血病（leukemia） 是一类造血干细胞的克隆性恶性疾病。其克隆中的白血病细胞失去进一步分化成熟的能力而停滞在细胞发育的不同阶段。在骨髓和其他造血组织中白血病细胞大量增生积聚，并浸润其他器官和组织，而正常造血受抑制。 我国白血病发病率为万。恶性肿瘤死亡率中，白血病居第6位（男性）和第8位（女性），在儿童及35岁以下成人中则居第一位。 微米纳米研究中心 Micro and Nano Technology Research Center STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室 微米纳米研究中心 Micro and Nano Technology Research Center STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室 微米纳米研究中心 Micro and Nano Technology Research Center STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室 ——扫描电子显微镜 1. 扫描电镜的优点 2. 电子束与固体样品作用时产生的信号 3. 扫描电镜的工作原理 4. 扫描电镜的构造 5. 扫描电镜衬度像 二次电子像 背散射电子像 6. 扫描电镜的主要性能 7. 样品制备 8. 应用举例 1. 扫描电镜的优点 高分辨率。现代先进的场发射扫描电镜的分辨率已经达到1nm，钨灯丝电镜也可达到3-6nm。贝克公式表示：?/nsin?，电子束波长 ?V