超高纯砷化氢、磷化氢扩产及办公楼（含研发实验室）建设项目环评报告书环境影响报告表.pdf

合肥正帆电子材料有限公司超高纯砷化氢、磷化氢扩产及办公楼 （含研发实验室）建设项目 1 概述 1.1建设项目由来及特点 电子气体是IC制造过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、化合物半 导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。IC 制造的前道工 序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺几乎都需 要不同种类和不同纯度的电子气体，正是这些气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性 能。