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泓域咨询/东莞TCO镀膜玻璃项目可行性研究报告
东莞TCO镀膜玻璃项目
可行性研究报告
xx集团有限公司
报告说明
PVD主要采用磁控溅射的方式，其工作原理是在真空的条件下使入射离子在电场的作用下轰击靶材，使得靶材表面的中性原子或分子获得足够动能脱离靶材表面，沉积在基片表面形成薄膜。CVD镀膜的原理是以热能、等离子体放电等形式的能量使气态前驱体（TCO）在固体（玻璃）表面发生化学反应并沉积在固体表面，CVD镀膜工艺可分为thermalCVD和activatedCVD。ThermalCVD通过加热来维持化学反应，其工作温度在500~700度之间，而根据工作环境的气压不同thermalC
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