长光栅光刻车间气流组织数值模拟毕业论文.doc

毕业设计（论文）报告 题 目 学 院 学 院 专 业 学生姓名 学 号 年级 级 指导教师 　 教务处制表  学生姓名： xx填写 学号： xx填写 专业： xx填写 毕业设计（论文）题目： 指导教师意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。） 指导教师结论： （合格、不合格） 指导教师 姓名 所在单位 指导时间  毕业设计（论文）评阅教师评阅意见表 学生姓名： xx填写 学号： xx填写 专业： xx填写 毕业设计（论文）题目： 农村宅基地测量技术研究 评阅意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。） 修改意见：（针对上面提出的问题和不足之处提出具体修改意见。评阅成绩合格，并可不用修改直接参加答辩的不必填此意见。） 毕业设计（论文）评阅成绩 （百分制）： 评阅结论： （同意答辩、不同意答辩、修改后答辩） 评阅人姓名 所在单位 评阅时间 论文原创性声明 本人郑重声明：本人所呈交的本科毕业论文《农村宅基地测量技术研究》，是本人在导师的指导下独立进行研究工作所取得的成果。论文中引用他人的文献、资料均已明确注出，论文中的结论和结果为本人独立完成，不包含他人成果及使用过的材料。对论文的完成提供过帮助的有关人员已在文中说明并致以谢意。 本人所呈交的本科毕业论文没有违反学术道德和学术规范，没有侵权行为，并愿意承担由此而产生的法律责任和法律后果。 论文作者（签字）： xx填写 日期：　xx填写　年　　月　　日  题目：长光栅光刻车间气流组织数值模拟 孙栋 摘? 要：长光栅的光刻制造工艺是一个复杂的精密制造过程，良好的环境条件有利于提高产品质量，本文通过CFD方法模拟分析某规格长光栅光刻车间内由空调通风所形成的空气速度场及温度场，确定满足制造工艺要求的空调参数，同时研究送风温度及送风速度对车间气流组织的影响，实现有效减少试验成本及试验时间，为实际生产提供理论依据的目的。 关键词：光刻;CFD;速度场;温度场 0引言 长光栅是利用光栅光学原理工作的测量反馈装置，是我国装备制造中的关键核心部件。传统的光栅制备方法有机械刻划、压膜复制等。研究表明光栅尺的形式、功能多样，因此对光栅制备技术有了更高要求，目前广泛采用的是光刻法。光刻工艺是一个复杂的精密制造过程，诸多因素直接影响光栅尺的制造精度。良好的加工环境可以在一定程度上改善光栅尺质量。其中，以光刻作业区域的气流速度及温度影响最大。科学引导精密生产环境中的气流成为提高产品质量的重要研究课题。 本文将CFD技术运用到某长光栅复制光刻车间的气流速度场和温度场研究中，对指导车间设备合理布局、科学设置送风参数具有重要意义。 1数值模拟理论 CFD是计算流体动力学的简称，它是以计算机作为基本工具，以能量、质量、动量守恒为主要理论依据，采取离散化的数值数学方法，求解各类流体力学问题，为指导实践提供可靠依据。基于此本文选用FLUENT 软件进行数值模拟研究。 首先建立数学物理模型，粘性流体流动的通用控制微分方程为： 已有试验结果表明，暖通空调领域中，为了在保证精度的前提下减少计算量，通常假设气流流动为紊态，气体不可压缩，由粘性作用所导致的能量耗散忽略不计，且试验场所密封性好。 2建立CFD模型 本课题研究对象为某规格光栅尺光刻车间内的气流组织，车间简化物理模型如图1所示，整体为一个3m×5.5m的矩形区域，车间右下角装有空调，送风和回风方向如图所示。复制光