基于Nios II的光刻机运动台电机驱动控制系统设计.docx

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2022-09-16 发布于河北
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基于Nios II的光刻机运动台电机驱动控制系统设计.docx

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光刻机在集成半导体行业中起着至关重要的作用，运动台的控制很大程度影响整个光刻机的套刻精度，所以改进运动台电机驱动控制系统是提升整个光刻机精度的重要环节。现有的光刻机工件台电机控制系统基于DSP处理器，若遇到多任务竞争，则一片单核DSP将无法胜任。Nios II作为软核控制处理器在近几年迅速发展，这是因为其具有优良的特性，可以灵活地设置内核处理器数量，实现核内多任务并行处理模式[1]。Nios II应用于光刻机系统可以满足部分控制系统需求，减小控制器的体积和质量。软核开发工具具有简单、易推广，开发周期短，移植和维护成本低，可实时更新的优势[1]。鉴于此，提出一种基于Nios II的运动台电机