薄膜材料的表征方法.pptVIP

四、X射线光电子能谱（XPS） 不仅电子可以被用来激发原子的内层电子，能量足够高的光子也可以作为激 发源，通过光电效应产生出具有一定能量的光电子。X射线光电子能谱仪就是利 用能量较低的X射线源作为激发源，通过分析样品发射出来的具有特征能量的电 子，实现分析样品化学成分目的的一种分析仪器。 在X射线光电子能谱仪的情况下，被激发出来的电子应该具有能量 其中v为入射X射线的频率，EB是被激发出来的电子原来 的能级能量。在入射X射线波长固定的情况下，测量激发 出来的光电子的能量E，就可以获得样品中元素含量和其 分布的情况。 返回 五、卢瑟福背散射技术（RBS） 具有较高能量而质量较小的离子在与物质碰撞的过程中会发生散射现象，这 一相应的过程被称为卢瑟福散射。利用这一物理现象作为探测、分析薄膜材料的 化学成分的分布的方法，被称为卢瑟福背散射技术。 如图(a)所示，由于离子能量很高而质量又很小，因而它将具有一定的对物质的穿 透能力，并且不会造成物质本身的溅射。在穿透物质的同时，高能离子与物质间 的相互作用可以被分为不同的两种情况： （1）高能离子在远离原子核的地方通过，并以不断激发原子周围的电子的方式 消耗自身的能量。 （2）当离子的运动轨迹接近了物质的原子核时，它与后者之间将发生经典的弹 性碰撞过程。 下图是卢瑟福背散射分析所使用的装置的