(工艺技术)蚀刻工艺.docxVIP

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  • 2022-09-21 发布于江苏
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PAGE PAGE 9 蝕刻技術 利用對金屬表面的侵蝕作用,從金屬表面去除金屬的處理技術。 電解蝕刻(electrolytic etching) 用母模作導電性陰極,以電解液作媒介,對加工部分,集中實施蝕刻的侵 蝕去除法。 化學蝕刻(chemical etching) 利用耐藥品被膜,把蝕刻侵蝕去除,作用集中於所要部位的方法。 照相蝕刻技術(photo-etching process) 在金屬表面全面均勻形成層狀的感光性耐藥品被膜(photo resist),而透過原圖底片,用紫外線等曝光,後施以顯像處理,來形成所要形狀的耐藥 品被膜之被覆層,再以蝕刻浴的酸液或鹼液,對露出部產生化學

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