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激光微加工技术讲解.doc

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    自 1960 年第一台激光器问世以来，激光的争辩及其在各个领域的应用得到了快速的进展。其高相干性在高周密测量、物质构造分析、信息存储及通信等领域得到了广泛应用。激光的高方向性和高亮度可广泛应用于加工制造业。随着激光器 件、型受激辐射光源，以及相应工艺的不断革与优化，尤其是近 20 年来，激光制造技术已渗入到诸多高技术领域和产业，并开头取代或改造某些传统的加工业。 1987 年美国科学家提出了微机电系统(MEMS 进展打算，这标志着人类对微机械的争辩进入到一个的时代。目前，应用于微机械的制造技术主要有半导体加工技术、微光刻电铸模造(LIGA 工艺、超周密机械加工技术以及特种微加工技术等。其中，特

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