晶圆的生产工艺流程.docxVIP

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2022-10-12 发布于江苏
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晶圆的生产工艺流程.docx

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PAGE PAGE 1/ 2 晶圆的生产工艺流程：从大的方面来讲，晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤，它又可细分为以下几道主要工序（其中晶棒制造只包括下面的第一道工序，其余的全部属晶片制造，所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序）：晶棒成长 --晶棒裁切与检测 --外径研磨 --切片--圆边--表层研磨 --蚀刻--去疵-- 抛光--清洗 --检验--包装 1、晶棒成长工序：它又可细分为：、融化（ MeltDown ）：将块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内，加热到其熔点 1420°C 以上，使其完全融化。、颈部成长（Neck Growth）:待硅融浆的温度安定之后，将〈1.