微纳测试题答案.docxVIP

1 什么是微纳米技术？ 微纳米技术是指通过在微纳米尺度范围内对物质的控制来创造并使用新的材料、装置和系统。 2 微纳米测量技术的特点？ 微纳米测量技术是指针对微纳米和维系统技术领域的测量技术 特点：1 被测量的尺度小，一般在微纳米量级 2 以非接触测量为主要手段 3 微纳米测量主要方法 测试方法：（光学测试：）自动调焦法、光学三角法、条纹投影法、莫尔条纹法、光学干涉测量法等 （显微测试：）光学显微测量法、激光扫描显微测量法、扫描电子显微镜测量法、原子力显微测量法等 4 自动调焦法测量表面微结构尺寸时的优点（光学法在微纳米测量技术中的意义）： 由于是非接触测量，因而对被测表面不造成破坏，可测量十分敏感或柔软的表面； 测量速度高，能扫描整个被测表面的三维形貌，且能测量十分复杂的表面结构； 用这种方法制成的测量仪器可用在制造加工过程中实现自动化测量 5 与金刚石探针接触测量相比，自动调焦法有哪些特点？ 与金刚石探针接触测量相比，自动调焦法的光点直径要小得多，因而能获取表面的十分细微的结构特征。 6 什么是三角法？ 三角法是利用通过一段已知长度的基本距离来测量到达一个被测物点的角度，并由此确定到它的距离的原理，通过光学 方法进行几何尺度测量的方法。 主要用途是测量被测物表面到测量基准点的距离，并通过几何关系求的一维及表面三维形貌。 7 影响三角法测量精度的因素 1 表面粗糙度的影响 2