硅微机械加工技术 IC 代工、平整化技术和SUMMIT 工艺.ppt

硅微机械加工技术 ;本讲内容;非标准 工艺设计过程;;MEMS Foundry 工艺;集成电路Foundries;IC 制造工艺: NMOS;IC 制造工艺: NMOS;IC 制造工艺: NMOS;IC Foundries一览;芯片表面拓朴;平整化 ;3-D 芯片增加了集成度 ;平整化技术;载体;抛光工艺;局部和全局均匀性;采用CMP平整化 MEMS;更平整的MEMS;玻璃悬涂(SOG);SOG 平整化和注模;平整化MEMS: SUMMIT IV;平整化MEMS: SUMMIT IV;Summit 和MUMPS比较;MEMS和IC的结合;早期例子 – 1984 (R. Howe);IC?MEMS;MEMS?IC;MEMS Exchange/;MEMS Exchange Process Run;Remote Microscope Screen Shot