电子行业废水研究.pdfVIP

注：电子行业包含很多行业，半导体行业、电子元件行业（其中包括电容器、电阻器、电 感器、电位器、电路板、电子变压器、磁性材料和电子敏感元件等）、平板显示器行业（其 中包括TFT-LCD和 PDP等）。 半导体行业废水研究 一、废水来源 在制备晶圆时，需要使用超纯水冲洗，无机药剂需要用到盐酸、氨水、硫酸和氢氟酸，有机 药剂需要用到光阻剂：乙酸丙二醇单甲基醚酯PGMEA（C H O ）和乳酸乙酯EL（CH O ）； 6 12 3 5 10 3 显影剂：氢氧化四甲基铵TMAH （C H NO）；去光阻剂：一甲基-2-比喀NMP （CHNO）； 4 13 5 9 光阻制程用药：酚（CHO）；晶片干燥过程用药：异丙醇 IPA （C HO）。在使用药剂的过 6 6 3 8 程中就会产生废水。 二、废水水质 1、含氟废水 常见水质： 2、酸碱废水 酸碱废水中，常含有 SS，所以在处理时需要注意是否另行添加去除颗粒度的设备，或是和 研磨废水合流处理。 3、有机废水 4、研磨废水 5、氨氮废水 6、含铜废水 具体水质可参看上海华立项目和大连英特尔项目 三、出水水质 1、国家标准 污水综合排放标准 2、行业标准 3、企业标准 有些企业考虑到最终排放水质要与生活污水合流排放，或是响应国家号召，会出现与国家标 准和行业标准不相同的标准。 四、工艺流程 参考上海华立项目和大连英特尔项目。 电子元件行业废水研究 一、废水来源 电子元件，以印制电路板行业为主要介绍对象。 在上述印制电路板的过程中，会产生有机废水、酸性废水、碱性废水、含氰废水、络合废水、 含铜废水和研磨废水。 二、废水水质 废水水质： 表1 印制电路板废水水质水量分类表 (单位：mg/L，pH除外) 序 比例 废水种类 pH COD Cu Ni CN NH -N 说 明 号 (%) 3 1 磨板废水 15~30 5~7 30 3 化学镀铜等清洗水，含EDTA等络 2 络合废水 3~8 10 200~300 50 合物 高浓度有 显影、剥膜、除胶废液和显影首级 3 3~6 10 5000~15000 2~10 机废水 清洗水 脱膜、显影工序的二级后清洗水； 4 10~15 10 200~600 一般有机 贴膜、氧化后、镀锡后以及保养清 废水 洗水 5 电镀废水 15~20 3~5 60 10~50 6 综合废水 20~30 3~5 80~300 20~35 一般清洗水 7 含氰废水 0.1~1.0 8~10 30~50 200 挠性板