PECVD_CT设备常见故障手册.pdfVIP

基本内容： 1PECVD设备常见故障和报警信息描述，及相应解决方法介绍 2PECVD工艺问题描述及相应的处理方法介绍 3紧急情况处理措施及设备维护的相关注意事项 基本要求： 1要求能够处理设备常见的基本故障 2对于不能处理的设备问题，要求能够识别问题的大体原因所在，并能够在第一次时间判断 通知车间设备工程师还是外围设备工程师 3熟悉M125-XXL工艺的基本步骤，能够处理常见的镀膜不良的问题 4面对紧急情况时，能够合理及时的处理；设备维护时，能够按照规程合理的进行操作 注：以下内容如没有进行特别标注均指 Ce ntrotherm PECVD 《PECVD常见设备故障及解决方法》 手推车(trolley)加载 1手推车无法被加载 故障 检查一下store2和store3位置是否有冋时存放石墨舟的情况， 如果是则将其中 取下 检查一下车上水平方向的感应器上是否有脏污和磨损， 如有则用氮气枪进行清理 禁止用无尘布之类的东西对反射镜进行擦拭 检查水平和垂直方向感应器指示灯是否正常，然后通知当班工程师 2 自动模式下石墨舟无法从设备内拾取到 storel 检查舟感应器的光线是否照射在了手推车上，正常的在没有石墨舟的情况下，舟感 的指示灯为开启状态，如果是则将首推车的位置重新调整，使舟 感应器指示灯恢复 状态 3手动模式下storel位置没有Downward 冋2,检查舟感应器是否正常 CMI死机 打开CMI界面下的护板，将 CMI开关关闭然后开开进行重启 机械臂(Lift)故障 1在CMI操作完成的情况下，如果出现机械臂无法加载的情况，先检查一下信号灯显 否为指示自动模 式的绿色，如果不是，则选定自动模式，不能选定的情况 下，再检查一下 CMI上方的“ AUTO/Handling ”开关是否为AUTO位进行选定 2在确保自动模式的前提下，如果机械臂仍不能动作，则等待半分钟，如果还不能 在确保浆和炉门没 有或没有即将出现运动的前提下，按下 CMI上方的“ STO 械臂依旧不能运动，则通知当班工程师 P, 如 浆无法进入移出炉 管(EFM error) 高频报警 (HF