拓荆科技-投资价值分析报告：中国半导体CVD设备龙头国产化.pdfVIP

2022 年 10 月 20 日 公司研究 中国半导体 CVD 设备龙头国产化持续放量 ——拓荆科技 （688072.SH）投资价值分析报告 要点 增持 （首次） 当前价：237.75 元 拓荆科技是 目前国内唯一产业化应用集成电路 PECVD 和 SACVD 设备的厂商， 也是国内领先的 ALD 设备厂商。公司是国内半导体 CVD 设备龙头，主要产品包 括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常 压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，是国内唯一产业化应用集成电 路 PECVD 和 SACVD 设备的厂商，也是国内领先的 ALD 设备厂商 ，已配适 180-14nm 逻辑芯片、19/17nm DRAM 及 64/128 层 FLASH 制造工艺需求 ，广 泛应用于 、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等 国内主流晶圆厂产线，打破了国际厂商对国内市场的垄断。2021 年公司实现营 业收入 7.58 亿元，其中