基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量.docx

摘要 传统的低相干垂直扫描方法在测量高度达数十或数百微米的台阶或沟槽类微结构的表面三维形貌时，测量效率低下。为此，提出一种基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量方法，该方法包含两次垂直扫描过程。建立描述单幅干涉图条纹对比度的评价函数，利用粗扫描来定位被测件上下表面的大致位置，并联系上下两幅粗扫描图像计算出覆盖被测件上下表面相干区域的精扫描采图区域。精扫描在其他区域直接跳过但记录位移量，结合π/2扫描移相的精扫描干涉图复原被测件的表面三维形貌。粗扫描的扫描步长由低相干光谱分布计算得到，精扫描步长为中心波长的1/8。以高度为7.805 μm的台阶板和深度为200.99 μm的沟槽进行实验，结果表明