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- 2022-11-07 发布于江苏
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现代表面技术
[填空题]
简要说明能斯特方程。参考答案:
[填空题]
三种薄膜生长方式的内在原因是什么? 参考答案:
[填空题]
二极直流溅射镀膜法的优点和缺点是什么? 参考答案:二极直流溅射镀膜法的优点:
装置简单,操作方便;
可以在大面积的基片上制取均匀的薄膜; 可以溅射难熔材料。
二极直流溅射镀膜法的缺点:
这种方法存在镀膜沉积速率低,只能溅射金属等导电材料等缺点; 未经改进的二极直流溅射仅在实验室内使用,很少用于生产;
不能溅射介质材料。
其原因在于轰击于介质靶材表面的离子电荷无法中和而造成靶面电位升高。外加电压几乎都加在靶上,极间电位降低,离子的加速和电离迅速减小,直至放电停止。
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