光纤压力传感器原理.docxVIP

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压力传感器 压力传感器的重要传感元件是法布利-比洛特(FP)型光学干涉仪。干涉仪的两面镜子分 别是位于一端的薄膜内表面和位于另一端的光纤尖端。所施加的压力 P 引起了薄膜的偏移, 而此偏移又直接转换成了FP 干涉仪空腔长度的变化。 为得到薄膜偏移和所施加的压力间的线性关系,传感器的形状和材料都经严格选择。其系可表示为: Lcav(P) = L0 + (P-P0S)… (1) 其中P 是施加到薄膜外表面上的压力(单位 psi) P0 是 FP 空腔内的压力(单位psi) Lcav 是由信号解调器所测得的空腔长度(单位 nm) L0 是处于零点初始状态的空腔长度(单位 nm),通常定义为P =P

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