一种MOCVD尾气粉尘收集装置.pdfVIP

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2022-11-13 发布于四川
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一种MOCVD尾气粉尘收集装置.pdf

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本实用新型涉及一种MOCVD尾气粉尘收集装置，包括粉尘过滤器，粉尘过滤器包括依次设置的冷却室、过滤室和洁净室，冷却室和过滤室相连通，过滤室和洁净室彼此独立，粉尘过滤器还包括设置在过滤室内的第一滤芯，尾气由进气接口进入冷却室冷却后，然后经第一滤芯过滤进入洁净室，再排出洁净室，该MOCVD尾气粉尘收集装置还包括具有氮气出口的氮气吹扫机构、连接在过滤室上的氮气出气管路及可拆卸连接在氮气出气管路上的收集器，当氮气吹扫机构吹出氮气时，过滤室内的至少部分粉尘和/或第一滤芯外表面的至少部分粉尘在氮气气流的作用

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217773620 U (45)授权公告日 2022.11.11 (21)申请号 202221911262.X (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人润新微电子（大连