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本实用新型提供了一种高纯电子气体自动取样装置，包括产品充装管线，产品充装管线的末端连接有产品充装罐，产品充装管线还连通有取样管线，取样管线上距离产品充装管线由近至远地依次设置有取样总阀、止回阀、减压器、质量流量计、第一压力计、取样阀、系统隔断阀和取样罐总阀，取样管线的末端连通有取样罐，取样阀和系统隔断阀之间连通有氦气管线和真空管线。本实用新型在取样管线上接入真空管线和氦气管线，使用氦气对取样管线进行清扫，然后抽真空，确保所取得的样品气体纯净，无杂质引入；本实用新型的取样管线与产品充装管线通过取样
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217786670 U
(45)授权公告日 2022.11.11
(21)申请号 202221892616.0
(22)申请日 2022.07.21
(73)专利权人 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有
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