晶体拆清基础知识.pptxVIP

晶体拆清基础知识会计学氩气流量值上氩气气动阀开启副真空泵气动阀关闭氩气快充阀阀开启主真空泵气动阀关闭第1页/共45页一、拆炉第2页/共45页一、拆炉2、取单晶第3页/共45页一、拆炉口罩净化服胸卡隔热手套安全鞋第4页/共45页一、拆炉3、取热场拆清炉着装要求第5页/共45页一、拆炉拆炉工具序号名称单位数量备注1拆炉车辆32吸尘装置台13酒精瓶14棕毛刷只15砂纸张16百洁布块27纤维纸张308电极螺丝扳手把19高温隔热手套副210线手套副211一次性手套袋112一次性口罩个213活口扳手把214取单晶筒只115斜口钳把1第6页/共45页一、拆炉取热场流程：顶环→上保温板→上盖板（碳碳材料）→环→导流筒→下保温板→上保温筒→石墨坩埚→支撑板→托杆上盘→托杆→主保温筒外部保温层→主保温石墨保温筒→护板→电极螺栓护盖→电极螺栓→加热器→反射板→反射板调节螺丝→电极→导气筒→下保温筒→护盘压片→碳碳中部部保温材料→大轴护套→电极石英护套和石墨护套→炉底护盘→碳碳底部保温材料 热场部件摆放： a． 取出的热场部件，按装配顺序摆放在拆炉车上。 b． 热场部件不允许相互堆叠放置，并且轻拿轻放。 取热场顺口溜： 环板碳碳环筒板，上保坩埚支撑板， 上盘托杆层筒板，盖螺加热反射板， 调节极筒不要反，压片中碳护套拣， 护盘碳碳底部板。第7页/共45页一、拆炉上盖板第8页/共45页一、拆炉下保温板第9页