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其它显微分析 会计学第1页/共47页离子探针 Ion Microprobe Analyzer电子探针仪优缺点第2页/共47页表面微区成分分析：常用的主要工具仍是电子探针仪。优点：（1）定量分析的精度较高；对Z10、浓度10％wt的元素，其误差在±5％内。（2）无损：可重复分析。缺点：（1）高能电子束对样品的穿透深度和侧向扩展较大，一般达μm级，难以满足薄层表面分析要求。（2）对Z≤11的轻元素分析困难，因其荧光产额低，特征X射线光子能量小，使其检测灵敏度和定量精度都较差。第3页/共47页离子探针仪的基本原理离子探针仪的基本原理：利用离子枪将惰性气体电离形成一次离子，通过12-20KV电压加速并聚焦成细小的高能离子束轰击固体样品表面，使样品激发和溅射出正、负二次离子，采用质谱仪对二次离子按质荷比分开，并用探测器测量记录二次离子质谱（强度按质荷比地分布），从而确定固体表面所含元素的种类和数量。离子探针：学名称二次离子质谱仪（Second Ion Mass Spectroscopy---SIMS）。第4页/共47页离子探针仪结构离子探针仪结构：一次离子光学系统、二次离子分析系统等两部分组成。① 一次离子光学系统： 离子枪、扇形磁铁、电磁透镜组功能：形成能量相近的细小束斑的高能离子束② 二次离子分析系统： 二次离子引出装置、质谱仪、二次离子探测器图14-1 离子探针仪结构示意图 第5页/