半导体厂GAS系统基础的知识.docxVIP

实用标准文案 实用标准文案 精彩文档 精彩文档/ GAS 系 统基础知识 概述 HOOK-UP 专业认知 一、 厂务系统 HOOK UP 定义 HOOK UP 乃是藉由连接以传输 UTILITIES 使机台达到预期的功能。HOOK UP 是将厂务提供的 UTILITIES ( 如 水,电,气, 化学品等),经由预留之 UTILITIES 连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。 机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等), 经由管路连接至系统预留接点 ,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL ， SEISMIC ， VACUU ， GAS ， CHEMICAL ， D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 二、 GAS HOOK-UP 专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的 Hook-up（配管衔接）以 Buck Gas （一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2 等）而言， 自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至次主管线（Sub-Main Piping）之 Take Off 点称