关于成立刻蚀设备公司可行性分析报告_参考范文.docx

泓域咨询/关于成立刻蚀设备公司可行性分析报告  关于成立刻蚀设备公司 可行性分析报告 xxx投资管理公司  报告说明 终点检测系统被广泛应用于刻蚀设备中，以保证刻蚀的深度和时间符合工艺要求。刻蚀反应对无需刻蚀的物质（下层薄膜，掩膜等）也会有一定损耗。反应过程中，当需要被刻蚀去除的物质层被完全剥离后，刻蚀设备仍会以较慢速率继续去除下一层级的物质，从而造成过刻蚀。 为解决过刻蚀的问题，部分集成电路在构造中新增了刻蚀反应停止层；其次，刻蚀设备也配备了终点检测系统。终点检测系统集成在工艺模块中，可以通过光谱测量多种参量，如刻蚀速率的变化，刻蚀中被去除的腐蚀产物类型，气体放电中活性反应剂的变化等。