干涉测量基本原理.docx

干涉测量基本原理 干涉测量是基于光波叠加原理，在干涉场中产生亮暗交替的干涉条纹，通过分析处理干涉条纹来获取被测量的有关信息。 当两束光满足频率相同、振动方向相同以及初相位差恒定的条件时，两支光会发生干涉现象。在干涉场中任一点的合成光强为[12]： 2? I I1 2I ? I ? I ? I I 1 2 1 2 cos ? ? 式中， ? 为两束光到达某点的光程差； I 、 I 分别为两束光的光强； ? 为光波 1 2 长。 干涉条纹是光程差相同点的轨迹，以下两式分别为亮纹和暗纹方程 ??m? ? ? ? m ? 1 ?? ? ? ? 2 ? 式中， m 为干涉条纹的干涉级 干涉仪中两支光路的光程差? 可表示为 ? ? ?n l ? ?n l i i j j i j 式中， n 、 n 分别为干涉仪两支光路的介质折射率； l 、l 分别为干涉仪两支 i j i j 光路的几何路程。 当把被测量引入干涉仪的一支光路中，干涉仪的光程差则发生变化，干涉条纹也随之变化。通过测量干涉条纹的变化量，可以获得与介质折射率 n 和几何路程 l 有关的各种物理量和几何量。 多光束干涉中反射率之间的关系 为测量被测表面的微观高度信息，在被测物上方置一石英玻璃片，以其下表面作为参考平面，如图 2-1 所示，石英玻璃片的下表面 GS 和被测物的上表面 OS 之间的空气会形成很薄的一层膜。