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会计学;5.4.4半导体陶瓷的缺陷化学理论基础;半导体陶瓷是由一种或数种金属氧化物,采用陶瓷制备工艺制备的多晶体半导体材料 ;半导体陶瓷的典型特性 ;研究半导体陶瓷,采用一般的半导体理论是不够的。为了深入了解半导体陶瓷材料的电性能,就要研究晶体中存在的原子缺陷和电子缺陷这些点缺陷的产生、存在状态、相互依存、转化与运动的规律。为此,在统计热力学的基础上建立了缺陷化学理论,即利用热力学中的质量作用定律,研究各种缺陷的浓度与温度及氧分压的关系,从中找出各种缺陷形式的热力学参数,对照能带理论确定材料的各种电学参数。 ; 在半导瓷中,晶体缺陷类型包括点缺陷、位错、晶界及表面等。点缺陷又可分为原子缺陷、电子缺陷、极化子、激子、声子等。其中的原子缺陷和电子缺陷可采用克鲁格维克(Kr?ger-Vink)符号系统来表征。; 以MO型氧化物晶体为例说???。用M表示金属元素,O表示氧,V代表空位,e代表电子,h代表空穴。 ;MO晶体中可能存在如下的各种点缺陷:;(1)若MO晶体中形成肖脱基(Schottky)缺陷,可用如下反应式来表示: ;(2)弗伦克尔(Frenkel)缺陷的准化学反应式为 ;(3)电子缺陷
当五价磷原子代替晶格中四价硅原子,形成n型半导体,产生电荷缺陷,其准化学反应式为:
;写出准化学反应的规则 ;(2)格点数变化规则
反应过程中,当某种子晶格的格点数增加或减少时,另一种子晶格的格点数也相应增加或减少,以满足第一条关于“晶格结点相对数目”的规则。 ;(3)质量守恒:
准化学反应式两边的质量总和应相等,其中空格点质量为零 ;(4)如果晶体中存在填隙原子,应在反应式中引入填隙空格点。
例如,金属原子从气相进入MO晶体的填隙位置,则相应的准化学反应式写成: ;(5)电中性条件
在描述电离原子缺陷和电子缺陷形成的准化学反应时,必须符合晶体中的电中性条件,即晶格中带负电荷的质点总数与带正电荷的质点总数相等。;质量作用定律表达形式 ;;若平衡条件(1),或(2),或(3)不满足,则化学反应就要进行。反应正向进行的条件是 ;化学势μ ;;点缺陷准化学反应系统的质量作用定律
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