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TiO2的制备与介电性研究
摘要：减小器件的尺寸大小和提高存储器的存储能力，是实现电子元器件的小型化与高性能化的根本原因。而其中提高器件核心材料的介电常数，就可以提高器件存储能力，因此介电材料是电子元器件不可或缺的材料之一。 TiO2是现阶段所发现的一种十分典型的介电材料，并十分有希望被用于电容器和储能等电子元器件上，这是因为它有着良好的化学稳定性、电导率和非常高的耐击穿电场强度。但是特别纯的TiO2的介电常数又很很低，所以需要通过掺杂改性来大幅度提高TiO2的介电性能。本文主要综述了几种纳米TiO2的制备方法，但制备方法不只文中介绍的这些，也对它的共掺杂物进行了研
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